TY  - BOOK
AU  - Calleja,E.
AU  - Herrero,J.M.
AU  - Lapeña,E.
AU  - Muñoz,E.
TI  - Introducción a los circuitos integrados. Notas docentes sobre tecnología
SN  - 8474022002
U1  - 004 
PY  - 1989///
CY  - Madrid (España)
PB  - Ingenieros de Telecomunicación E.T.S.
KW  - ANALISIS DE CIRCUITOS ELECTRICOS
KW  - CIRCUITOS INTEGRADOS
KW  - INGENIERIA ELECTRICA
N1  - Incluye figuras; Materiales semiconductores.-- 
Crecimiento de cristales.-- 
Preparación de sustrato.-- 
Laminas epitaxiales.-- 
Introducción de dopantes.--
Difusión e implantación iónica.-- 
Oxidación, aislantes y polisilicio.-- 
Técnica de litografía.-- 
Metalización y encapsulado.-- 
Instalaciones y técnicas complementarias.-- 
Tecnología de fabricación.--
Dispositivos en  circuitos  integrados
ER  -